Functional Nano-Scaled Materials for Long-Term Stable Gas Sensors 'NANOGAS'

Projektleitung und Mitarbeiter

Mittelgeber Sonstige oeffentliche Einrichtungen

Projektbeginn : 09. 1994

Projektende : 08.1997

Tel./ Fax.:

Projektbeschreibung

Ziel des Projekts ist die Herstellung langzeitstabiler Gassensoren fuer Gase wie CO, NO_x, CH_4 (allgemeiner C_xH_y) Als gassensitive Schichten kommen nanokristalline Oxide - vorwiegend SnO_2 - zum Einsatz. Diese Sensorschichten werden sowohl in Dickschichttechnologie hergestellt, wie auch durch Sputterprozesse als Duennfilme aufgebracht. Untersucht werden neben den Gleich- und Wechselstromleitfaehigkeiten bei Gaswechselwirkung und verschiedenen Temperaturen auch die morphologischen und physikalisch-chemischen Eigenschaften. Zur Untersuchung dieser Parameter sollen neben Raster-Elektronen-Mikroskopie und Transmissions-Elektronen- Mikroskopie auch moderne Rastermethoden wie Raster-Tunnel- Mikroskopie und Atomkraftmikroskopie eingesetzt werden. Die physikalisch-chemische Zusammensetzung wird durch Roentgen-Photoelektronen-Spektroskopie, Ultraviolett-Photoelektronen- Spektroskopie, Auger-Elektronen-Spektroskopie und Elektronenenergieverlust-Spektroskopie charakterisiert.

Publikationen

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